Систему для выявления дефектов при производстве микросхем разработали для регионального дизайн-центра микроэлектроники при Новгородском государственном университете им. Ярослава Мудрого (НовГУ) ученые Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (СПбГЭТУ) «ЛЭТИ», 18 января сообщает пресс-служба «ЛЭТИ».

Рентгеновская компьютерная томография способна с высокой точностью фиксировать даже микроскопические изъяны. Эти ее возможности использовали специалисты «ЛЭТИ», создавая по заказу новгородских ученых микрофокусный компьютерный томограф, позволяющий отслеживать скрытые дефекты, а также определять качество изготовления электронных устройств.

Сеть профильных дизайн-центров, один из которых был открыт в НовГУ, предназначена для развития отечественной электронной промышленности, импортозамещения технических решений на российской научной платформе, в том числе для проектирования и создания микросхем.

Доцент кафедры электронных приборов и устройств СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Виктор Борисович Бессонов сообщил о задаче, поставленной перед разработчиками:

«В рамках дизайн-центра предполагается использование рентгеновского контроля и в частности рентгеновской томографии для выходного-входного контроля электроники и электронно-компонентной базы. Это позволит с высокой разрешающей способностью проводить диагностику микросхем различных типов электроники для установления соответствия качества готовой продукции регламентируемым требованиям».

Оригинальная конструкция томографа, созданного в «ЛЭТИ» для новгородского дизайн-центра, состоит из специальной камеры с источником рентгеновского излучения. Внутрь камеры помещают исследуемые объекты, а полученную информацию обрабатывает разработанное в ЛЭТИ специальное программное обеспечение, которое предоставляет данные об исследуемых образцах в виде трехмерных снимков.

Разработка томографа велась в рамках проекта кафедры ЭПУ СПбГЭТУ «ЛЭТИ» «по созданию систем (приборов, программного обеспечения и методов использования) микрофокусной рентгенографии для высокоточной экспресс-диагностики объектов в целях повышения качества производимой продукции в России».

Аналогичный томограф был ранее разработан для Никитского ботанического сада. Он предназначался для высокоточной оценки качества семян различных растений.